超純水處理設(shè)備如何去除雜質(zhì)
一、溶解的無(wú)機(jī)鹽
有鈉、鈣、鎂等鹽類，溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí)，會(huì)使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面，造成短路。過(guò)去除去水中無(wú)機(jī)鹽是將水蒸餾，但就是三次重蒸餾水，水的電阻率僅3兆歐—厘米，水中仍含有大于01ppm的NaCl。較為近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹(shù)脂。陽(yáng)離子交換脂和陰離子交換樹(shù)脂分別使用，易于再生，混合床離子交換樹(shù)脂用在離子交換的終級(jí)，起把關(guān)的作用。這樣出來(lái)的水可達(dá)18兆歐—厘米(25攝氏度)。
二、溶解的有機(jī)物
有工業(yè)排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹(shù)脂之前，因活性炭本身會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)。必須注意，進(jìn)入樹(shù)脂床的水要先除去有機(jī)物，因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂易為有機(jī)物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物，分子量小于300的有機(jī)物可除去90%。
三、粒子物質(zhì)
很多地方都容易產(chǎn)生，如炭床、樹(shù)脂床、深層過(guò)濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率，但沒(méi)有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質(zhì)，只有用膜濾，一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜，特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜，除去膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透也能除去小粒子。
